鋁、鉭、鎢、銅及氮化鈦等金屬納米磨料CMP技術及其應用的研究

2005年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

①采用高PH值（一般PH值大于10.5）拋光液，實現了拋光高速率、反應產物可溶、易于清洗；
②拋光速率可控，防止設備腐蝕，減少了金屬離子的污染；
③按照速率的要求來確定溫度；
④利用絡合劑解決在堿性介質下氧化物和氫氧化物的沉淀問題，
⑤利用質量傳遞υ的關系使反應產物迅速脫離表面，增加了高低的選擇比和表面的平整度...

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鋁、鉭、鎢、銅及氮化鈦等金屬納米磨料CMP技術及其應用的研究

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