納米材料在微電子技術中的應用

2005年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

成功實現了分散度小的粒徑可控生長，有效控制了金屬雜質含量；解決了純度及穩定性問題，提高了適用性。制得可用于不同材質拋光的不同粒徑范圍，具有較小分散度的硅溶膠，為CMP工藝提供了合格的精拋磨料。此成果完成后，用于微電子用拋光液并可實現大規模生產，使科技成果得以轉化，推向國際市場，年效益達到近千萬元。...

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納米材料在微電子技術中的應用

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