刻蝕氣（四氟化碳、三氟甲烷、全氟乙烷、全氟丙烷）研制

1994年

應(yīng)用技術(shù)

成果簡(jiǎn)介

　　該項(xiàng)成果采用AlCl_3催化歧化及低溫精餾工藝，獲得高純4N的CHF_3刻蝕氣。四氟化碳研制采用碳型材料直接氟化工藝和低溫精餾分離技術(shù)，獲得4NCF_4刻蝕氣。三氟甲烷和四氟化碳都達(dá)到噸級(jí)工業(yè)化生產(chǎn)能力。利用其副產(chǎn)品，經(jīng)低溫精餾和吸附分離，可獲得2.7NC_2F_6 和3NC_3F_8刻蝕氣。以上四種產(chǎn)品指標(biāo)均達(dá)到國(guó)外1987年同類產(chǎn)品水平。...

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