線列式七室連續(xù)沉積設備與系統(tǒng)

1993年

應用技術

成果簡介

　　該設備是用輝光放電法制作非晶硅太陽能電池的大型綜合設備。它具有多種功能，可沉積各種薄膜材料及器件，廣泛應用于大面積光電器件及大尺寸薄膜微電子技術領域。該設備由線列式排列的7個矩形真空室組成，每兩室之間的方形法蘭采用銀絲密封聯(lián)接及矩形閘板閥隔離密封，整個系統(tǒng)均用不銹鋼制造。其最大特點是清除了殘余氣體的交叉污染，并設有進出片室，可存儲5片（20×20平方厘米）樣品，在真空條件下實施連續(xù)沉積。用該設...

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線列式七室連續(xù)沉積設備與系統(tǒng)

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