2006年 應(yīng)用技術(shù)
一種準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工用的投影成像物鏡屬于激光微加工及其應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。其特征在于由在鏡座中按順次方式共軸排列的3片球形石英透鏡，其中第一片為取向不可逆的負(fù)透鏡1，緊接依次排列的第二片正透鏡2及取向不可逆的正透鏡3。特征還在于采用了雙面曲率為正的負(fù)透鏡1，雙面曲率左正右負(fù)的正透鏡2，雙面曲率為正的正透鏡3。本實(shí)用新型的分辨率為2um，專門用于準(zhǔn)分子激光波長區(qū)域（248nm），具有高的成像質(zhì)量...
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