一種多晶硅氫化爐用炭/炭隔熱屏的制備方法

2016年

應用技術

初期階段

成果簡介

　　本發明公開了一種多晶硅氫化爐用炭/炭隔熱屏的制備方法，制備過程為：采用炭布與短炭纖維網胎交替環向纏繞構成平面纖維，垂直方向引入增強纖維，制成三向結構隔熱屏預制體，對三向結構隔熱屏預制體進行化學氣相滲透致密工藝后再進行樹脂或瀝青浸漬、炭化處理，高溫純化處理后再機械加工，對機械加工后的炭/炭隔熱屏表面進行化學氣相沉積涂層處理，即制得高純度的炭/炭隔熱屏。本發明工藝簡單，周期短，成本較低，在不顯著降...

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一種多晶硅氫化爐用炭/炭隔熱屏的制備方法

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