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    一種復合鈍化膜結構的延伸波長銦鎵砷探測器及制備方法

    2016年 應用技術  成熟應用階段
    • 成果簡介
      一種復合鈍化膜結構的延伸波長銦鎵砷探測器及制備方法,具體包括:在外延片上刻蝕形成p型微臺面;在微臺面局部區域上制備P電極區,其上置有覆蓋部分微臺面的電極互連區,并從微臺面上延伸至微臺面下;在微臺面的一側有刻蝕至n型緩沖層的N槽,并制備上N電極區。除P和N電極區外,整個外延片上覆蓋有復合鈍化層。本發明的優點是:Al2O3/SiNx復合鈍化膜結構可實現對微臺面的有效覆蓋,提升側面鈍化效果,降低界面...

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