改善球面光學元件鍍膜均勻性的擋板的設計方法

2015年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一種用于行星轉動系統鍍膜機內改善球面光學元件鍍膜均勻性的擋板設計方法。建立鍍膜模型和設計了具有拋物線輪廓的平面修正擋板。本發明擋板用于鍍膜實驗表明，在通光口徑與曲率半徑比值范圍（－ 1.9～+ 1.9）內改善膜厚均勻性達到97.5%以上，且對凸球面光學元件和凹球面光學元件都適用。本發明與現有技術相比主要優點：
本發明通過計算機模擬一次性設計出擋板，本發明擋板用于鍍...

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改善球面光學元件鍍膜均勻性的擋板的設計方法

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