基于旋轉(zhuǎn)達曼光柵的多路并行激光直寫裝置和方法

2015年

應用技術(shù)

成熟應用階段

成果簡介

一種基于旋轉(zhuǎn)達曼光柵的多路并行激光直寫裝置和方法。該裝置包括激光刻寫光路、自聚焦模塊和電子控制模塊；該裝置充分利用達曼光柵分束的特點，實現(xiàn)了并行直寫光柵；通過旋轉(zhuǎn)一維達曼光柵，來實現(xiàn)變周期刻寫光柵；通過旋轉(zhuǎn)二維達曼光柵，能上千倍地提高刻寫速度，從而實現(xiàn)更高效更快速的刻寫。本裝置適用于刻寫大面積高密度的光柵。...

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基于旋轉(zhuǎn)達曼光柵的多路并行激光直寫裝置和方法

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