一種太赫茲或紅外微測輻射熱計及其制作方法

2015年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

本發明公開了一種太赫茲或紅外微測輻射熱計，包括用于非制冷太赫茲探測器或非制冷紅外探測器的微測輻射熱計的微橋結構，該微橋結構中的熱敏電阻材料和光吸收材料為氧化釩－富勒烯兩元復合薄膜、或者是氧化釩－富勒烯－碳納米管三元復合薄膜當中的一種。這種氧化釩復合膜分別由兩維氧化釩與零維富勒烯兩種成分、或者是兩維氧化釩與零維富勒烯和一維碳納米管三種成分相復合而成，該微測輻射熱計及其制備方法能克服現有技術中...

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