太陽能硅片多線切割機研制及應用

2011年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一、任務來源
　　1.湖南省重點科技計劃項目（湘財企指[2009]66號）（2009CK2005）；
　　2.國家中小型企業創新基金重點項目[09C26214305022]；
　　3.國家發改委科研項目（發改投資[20091168號]）（湘發改高技[2009]596號；
　　4.國家重大科技專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”課題[2009...

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太陽能硅片多線切割機研制及應用

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