基于MEMS技術的微型動態壓阻壓力傳感器

2010年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

本項目屬電子技術與儀器儀表領域。針對我國軍工、醫學、大壩、橋梁、建筑等行業對具有原位測量、抗干擾、動態特性好、精度高等優異性能的微型動態傳感器的需求，突破國外技術封鎖，開展微小型及特殊形狀的高頻動態壓力傳感器的研究。提出了復雜結構的微機械(MEMS)設計技術與雙面腐蝕成型的梁—島—膜復合結構工藝技術，得到高線性精度；實現了各向異性腐蝕的精密控厚技術，獲得極薄的膜結構；國際上首次提出了微型微...

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基于MEMS技術的微型動態壓阻壓力傳感器

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