極小氣體流量測量技術研究

2010年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　本項目是國防軍工計量“十一五”計劃重點研究項目，項目經費為310萬元，項目編號為A11603209，研究起止時間為2006年7月至2009年12月。
　　該項目采用固定流導法和氣體分流法兩種方法測量極小氣體流量。前者利用流導值為10-9m3/s量級的激光精密小孔，在(10-2～10)Pa范圍內調節進氣壓力，實現了 (8.347×10-8～2.162×10-10)Pa·m3/s范圍...

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極小氣體流量測量技術研究

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