霧夜環境安全輔助駕駛技術--光學讀出紅外成像系統

2009年

應用技術

成果簡介

本項目利用雙材料微梁陣列的變形原理，開發了基于MEMS的新型非制冷紅外探測器，并推出了針對軍用和民用市場的不同性能需求的紅外探測器。優點：溫度靈敏度高(NETD＜200mk)，無Johnson噪聲，無需制冷，與通用IC工藝兼容，成本低。研究成果的與國內水平以及國內外情況比較，本項目的FPA設計制作從根本上改變了已有的觀念限制，提出了在無基底的氮化硅薄膜（約2微米厚）上刻蝕制作微梁陣列的概念...

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