2009年 應用技術
成熟應用階段 該項目首次從原理上提出了利用單根低線數計量光柵實現大量程、納米分辨率的位移測量方法，并提出了一種對相對差不敏感的交點跟蹤式莫爾（干涉）條紋信號計數細分方法。設計了一種基于保偏光纖耦合器的鏡柵隨動式干涉儀光路，突破了傳統光柵儀器量程的限制，從技術上實現了大量程、高精度的位移測量。提出了一種高分辨率數字化微光學灰度掩模制作方法，研制了相應的制作裝置，可實現大量程納米級光柵位移傳感器的產品系列化。
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