MEMS硅基壓力敏感芯片生產技術研究

2009年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　任務來源：
　　傳感器是一種能感受規定的被測量并按照一定的規律轉換成可用輸出信號的器件或裝置，是過程自動控制系統和信息系統的關鍵基礎元器件。而敏感芯片是傳感器的核心部件。
目前，發達國家已經將傳感器技術列入涉及國家利益的敏感技術之列。并向我國市場大量傾銷傳感器產品，但對敏感芯片制造技術、涉及用于軍事領域應用的高質量芯片技術等重要的、核心的、先進的以及可能會涉及國家安全方面...

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