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    6英寸新型電力電子器件用硅外延片

    2008年 應用技術  成熟應用階段
    • 成果簡介
    硅外延是一種半導體材料薄膜生長技術,即將硅襯底在還原性氣氛中加熱,并輸入硅源和摻雜氣體,使之反應,生成硅原子淀積在襯底上,長出具有與襯底相同晶向的硅單晶層,其電阻率和厚度符合特定要求。
    電力電子器件又可稱為開關器件,其工作過程就是能量過渡過程。隨著關鍵技術的突破以及需求的發展,早期的小功率、低頻、半控型器件發展到了現在的超大功率、高頻、全控型器件,新型電力電子器件向著大...

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