2006年 基礎(chǔ)理論
該項(xiàng)目首先發(fā)現(xiàn)了銅離子與多胺有機(jī)堿形成極穩(wěn)定且溶于水的絡(luò)合物，從而確定了以化學(xué)作用為主的堿性介質(zhì)下銅CMP的機(jī)理模型，即強(qiáng)絡(luò)合、弱氧化、高濃度、小粒徑、高活性，并制備出新型銅CMP堿性拋光液；本項(xiàng)目制備了一種速率快、平整度高、選擇性好、損傷小、能有效控制金屬離子沾污、不污染環(huán)境、易清洗的銅CMP拋光液，該項(xiàng)目居國際先進(jìn)水平。...
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