2008年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 課題來(lái)源于黑龍江省科技攻關(guān)項(xiàng)目“快速超級(jí)密激光干涉儀的研制”，針對(duì)我國(guó)超精密制造設(shè)備、微電子裝備、超精密光機(jī)電設(shè)備納米測(cè)量?jī)x器中亟待解決的高精度快速位移檢測(cè)問(wèn)題，研究一種基于雙頻激光干涉原理的快速超精密實(shí)時(shí)位移監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括：激光穩(wěn)頻技術(shù)、鎖相倍頻細(xì)分技術(shù)、高速脈沖對(duì)頂相減技術(shù)、雙路正交方波整形輸出技術(shù)、建立雙頻激光干涉儀的動(dòng)態(tài)誤差修正模型及相應(yīng)的修正系統(tǒng)等。
課題通過(guò)... 
|
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
