2008年 應用技術
一、將過渡金屬M 用電弧離子鍍方法添加于TiN 薄膜中：1 . ( Ti,M ) N 薄膜硬度均高于TIN 薄膜硬度，合金強化效應普遍存在；2 ．薄膜相結構決定于添加元素M 的周期律信息，包括M 的共價半徑、電負性，及MN 化合物的自由能、晶格常數等；3 . ( Ti,Zr ) N 為多相混合結構，薄膜硬度高，但韌性差；其它（Ti,M ) N 的相結構為TIN 類型的單一fcc 結構，薄膜...
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