光纖詢問式MEMS壓力傳感器

2007年

應用技術

成果簡介

　　1、應用領域：光纖MEMS壓力傳感器具有光纖傳感器及MEMS傳感器的優點，如體積小、重量輕、反應快、靈敏度高、成本低以及抗電磁干擾、保密性能好等。這些優點使得該傳感器可以在石油化工這樣的易燃易爆場合大顯身手，還可以在對重量以及電磁干擾嚴重的航天航空領域得到廣泛的應用。
　　2、技術指標：光纖詢問式MEMS壓力傳感器主要基于法布里－珀羅（F-P）干涉原理，在光纖端面和硅敏感膜之間形成...

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光纖詢問式MEMS壓力傳感器

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