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    高精密蒸鍍用MASK板的研制

    2007年 應用技術
    • 成果簡介
      經過本課題的研究,解決了大幅面低應力電鑄技術的難點,解決了大幅面平面電鑄的厚度均勻性問題,獨創性的建立了OLED MASK制造數據補償的軟件模型和計算機輔助制造的方法并解決了大幅面薄金屬技術等技術難點。
      在技術創新方面,實際的產品已經達到10μm的分辨率,厚度精度控制方面可以做到±2μm,在大幅面制造方面已經具備了600mm×600mm的能力,這些指標是同行業世界領先水平。同時...

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