一種用于氮化物半導體材料退火的新型加熱襯托

2005年

應用技術

成果簡介

　　本實用新型涉及半導體材料技術領域，一種用于氮化物半導體材料退火的新型加熱襯托。由石英支架、襯托、藍寶石片、樣品、熱電偶組成，襯托位于石英支架之上，藍寶石片位于襯托之上，熱電偶位于襯托之下，樣品位于藍寶石片之上。
　　在氮化物材料退火處理時采用這種加熱襯托，氮化物在快速退火設備中退火時，在石英架上放上此種襯托作為加熱襯托，將藍寶石片放在此種襯托上，氮化物外延層面朝下扣于藍寶石片上進行...

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一種用于氮化物半導體材料退火的新型加熱襯托

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