背孔結構氮化鎵基發光二極管的制作方法

2004年

應用技術

成果簡介

一種背孔結構氮化鎵基發光二極管的制作方法，包括：在藍寶石等絕緣襯底上依次外延生長N型氮化鎵層，多量子阱發光有源區和P型氮化鎵層；光刻刻蝕到N型氮化鎵層內，制備P型歐姆接觸電極和N型歐姆接觸電極；劃片將外延片上的管芯分割成單個管芯；在硅片上雙面生成二氧化硅絕緣隔離層，在正面制備金屬電極，背面光刻出背孔圖形；形成背孔；在硅片正面采用厚膠光刻電鍍凸點圖形；在硅片背面制備一層低熔點的合金，形成管座...

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背孔結構氮化鎵基發光二極管的制作方法

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