2006年 應用技術
本實用新型光集成芯片自動測試系統，涉及自動測試技術領域。它提出了一個采用可編程邏輯控制器和微機控制的，帶多路光纖探頭的自動測試方案，可解決產品大批量生產時晶圓裸片自動檢測的難點。可編程邏輯控制器用于控制由高速、高精度伺服電機組成的一個帶真空吸盤，可作三維立體空間運動的裸片抓放機械手，一個可作二維平面運動的多路光纖光源探頭，以及一個多路光纖信號探頭，并能夠測試各種不同光性能參數，如光功率、色散、...
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