集成脈動芯片熱管及其制備方法

2007年

應用技術(shù)

成果簡介

　　本發(fā)明涉及一種集成脈動芯片熱管及其制備方法，集成脈動芯片熱管由一對經(jīng)陽極擴散焊接工藝鍵合在一起的硼硅酸玻璃和半導體硅片構(gòu)成，其中，與硼硅酸玻璃接觸的硅片表面經(jīng)清洗、拋光處理后，再進行氧化反應生成氧化膜層，然后采用紅外雙面對準工藝，經(jīng)顯影、刻蝕，形成具有熱管構(gòu)型的微型冷卻通道；在硼硅酸玻璃片上利用激光精準鉆孔工藝在指定位置分別鉆出抽真空孔和冷卻液灌注孔，清洗后利用陽極擴散焊接工藝將硼硅酸玻璃片和...

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集成脈動芯片熱管及其制備方法

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