多孔陽極氧化鋁濕度傳感器及其制備方法

2007年

應用技術

成果簡介

　　本發明公開了多孔陽極氧化鋁濕度傳感器及其制備方法。該傳感器金屬膜電極為多孔金屬膜電極，多孔陽極氧化鋁膜片和多孔金屬膜電極上的孔洞沿膜片厚度方向連通并在上下表面開口。其制備方法是采用二步陽極氧化法和酸腐蝕相結合工藝獲得雙通孔陽極氧化鋁膜片，用射頻磁控濺射法在膜片上下表面沉積金屬電極，使金屬電極復型陽極氧化鋁膜片的表面形貌，形成電極孔洞與陽極氧化鋁孔洞相互連通結構的濕度傳感器。該傳感器可以在全相對...

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多孔陽極氧化鋁濕度傳感器及其制備方法

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