基板承載裝置

2006年

應用技術

成果簡介

本發明涉及一種基板承載裝置。該基板承載裝置包括：一個基板支座和多個夾持模組。該基板支座上具有多個第一通孔，該夾持模組包括一個主體部，至少一個夾持指桿，一個固持件，至少一個導向桿，至少一個第一彈性組件及一個激勵件。該夾持指桿的一端設置于該主體部內，另一端穿設于上述第一通孔。該固持件固定在該基板支座上，該導向桿設置于該固持件與主體部之間，其一端與該固持件相連，另一端穿設于該主體部的導向通孔中。...

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