一種非制冷紅外探測器隔熱襯底制作方法

2007年

應用技術

成果簡介

本發明涉及一種非制冷紅外探測器隔熱襯底制作方法，屬于微機電系統領域。采用陽極氧化法制作多孔硅，然后在多孔硅上淀積一層過渡層氮化硅薄膜，制作成非制冷紅外探測器隔熱襯底，爾后的器件制作就在這一層氮化硅薄膜上進行。由于在多孔硅與紅外材料之間插入了一種中間過渡層，改善了由于多孔硅造成的表面不平將可以大幅度提高紅外材料的晶體質量，從而提高器件的性能。...

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一種非制冷紅外探測器隔熱襯底制作方法

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