數字式激光波面干涉儀

2005年

應用技術

成果簡介

該儀器采用新穎的數學移相干涉法及全新的結構設計，可精確測量凹球面鏡的面形誤差和曲率半徑。配備輔助光學部件后，還可測量凸球面、平面、非球面的面形誤差以及光學系統的波像差等。該儀器配置有計算機控制系統和CCD攝像系統，可實時進行波前檢測和像質評價并能給出高精度的定量檢測結果。該儀器體積小，使用操作方便，具有較強的抗干擾能力可在一般實驗室或車間條件下使用，一切可用刀口儀檢測的場合均可使用該儀器替代。系統...

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數字式激光波面干涉儀

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