2005年 應用技術
一、成果內容簡介、關鍵技術、技術經濟指標：1、成果內容簡介：自動橢偏儀是一種對薄膜厚度和折射率進行非破壞性快速測量的儀器，是半導體集成電路工藝監控中必要的關鍵在線檢測設備之一。西安交通大學徽電子研究所承擔了橢圓儀專題攻關任務。攻關的重點是提高可靠性和實用化程度。儀器的功能和技術指標：(1)單層透明膜折射率和厚度測量。(2)雙層透明膜折射率和厚度測量。(3)SIO3膜上多晶硅膜厚度及消光系數測量。(...
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