光刻物鏡自動氣壓補償裝置

2001年

應用技術

成果簡介

該實用新型專利為一種光刻物鏡自動氣壓補償裝置，它克服了現(xiàn)存技術只能對數(shù)值孔徑不大的物鏡進行環(huán)境氣壓引起的焦面漂移補償?shù)娜毕荨Ｋ蓛?nèi)部通道連通光刻物鏡內(nèi)的各透鏡而形成與外界大氣隔絕的內(nèi)腔，并采用壓力傳感器檢測和單片機控制電路控制內(nèi)腔氣壓的方式，使其達到設定值或零偏差值。該光刻物鏡自動氣壓補償裝置可用于對數(shù)值孔徑較大，工作波長較短的光刻物鏡受環(huán)境氣壓影響引起的焦面、倍率和畸變漂移進行控制。...

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光刻物鏡自動氣壓補償裝置

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