制備薄膜裝置中用的金屬平板加熱器

2001年

應用技術

成果簡介

該發明涉及一種薄膜制備設備中的加熱裝置，該裝置由加熱板、電極引線、控溫儀、電流取樣器、熱電偶組成；這種金屬平板型加熱器由耐高溫導電材料做成中間發熱區，兩端為加厚的低電阻區，用電極引線夾板把金屬箔電極與加熱板兩端連接，大電流變壓器接到控溫儀的可控硅輸出端，變壓器次級輸出端接到加熱板上，加熱電流感應取樣線圈或熱電偶溫度取樣接到控溫儀信號輸入端。該發明抗機械沖擊力強，不易損壞。又因采用電極軟連接，在高溫...

相關成果

1. 在水溶液中用電沉積法制備稀土合金薄膜
2. 電熱薄膜加熱器
3. 制備結晶氮化碳薄膜的裝置
4. 制備類金剛石薄膜的裝置
5. 科研內容向教學轉化——金屬薄膜的制備及薄膜電阻的動態監測
6. 平板顯示器用非晶金剛石薄膜制備技術
7. 紫外輻照制備金屬、金屬氧化物超細粉或金屬薄膜的方法
8. 一種制備金屬鋯薄膜材料的方法
9. 一種金屬納米晶薄膜的制備方法
10. 一種金屬復合纖維或金屬復合薄膜的制備工藝
12. 制備納米結構生物活性鈦金屬薄膜的方法
13. 高電熱效率的陶瓷薄膜加熱器電吹風
14. 貴金屬銥和鉑薄膜的MOCVD制備與結構特性研究
15. 制備非晶及納米微晶薄膜的基片低溫冷卻裝置
16. 新型金屬氧化物發光薄膜的制備及生長機制研究
17. 鑲嵌納米貴金屬顆粒的氧化鋇復合薄膜的制備和特性
18. 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制備及檢測裝置
19. 鎳酸鑭導電金屬氧化物薄膜材料的制備方法
20. 批量化制備雙面高溫超導薄膜裝置

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

制備薄膜裝置中用的金屬平板加熱器

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功