納米尺度(1-102nm)技術(shù)是21世紀(jì)全球重大的高技術(shù)。微動(dòng)機(jī)器人為實(shí)現(xiàn)納米位移,國際學(xué)術(shù)界提出了很多新思想、新方法。有“振動(dòng)驅(qū)動(dòng)法”、“尺蠖驅(qū)動(dòng)法”、“沖擊驅(qū)動(dòng)法”等。中科院沈陽自動(dòng)化研究所經(jīng)過理論和試驗(yàn)研究,提出了“碰撞驅(qū)動(dòng)法”。納米尺度位移是通過放大1000倍的顯微鏡觀察的,由于顯微分辨率限制,微動(dòng)機(jī)器人必須走很多步顯微鏡才能判讀,為此,這里只能得到平均值,每步位移量為30nm。...
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