雙盤連接基片裝置及使用方法

2005年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一種用于Veeco射頻離子束濺射鍍膜機的雙盤連接基片裝置及使用方法，該裝置由固定盤、外接盤和基片構成，該固定盤的中心開有一軸套孔，該固定盤的邊緣設有N個不穿透的螺孔；該外接盤的邊緣與固定盤的螺孔相對處也開設N個尺寸相同的通孔，其中N為大于2的正整數；該外接盤依據基片的大小和形狀開設一基片槽；基片蓋板與基片槽相對應配套，該基片和基片蓋板的相同部位分別開設有螺孔和通孔。...

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