1999年 應用技術
該成果研究了PZT鐵電薄膜的Sol-Gel法制備工藝、退火行為及材料性質。其主要內容有：參考常規Zr醇鹽Sol-Gel制備法，首次以ZrO(NO3)2為出發原料制備了PZT納米鐵電薄膜，系統研究了溶膠及電極的制備、熱處理過程、整合劑的作用等。成功地制備了PZT/PT納米晶鐵電薄膜。首次試探了ZrO(N03)2出發原料制備鐵電薄膜的微波退火，并與常規退火、快速退火(RTA)作了比較。此外，用高分辨率...
|
微信公眾號
服務熱線
微信公眾號
服務熱線
