金剛石膜熱沉表面金屬化工藝研究及應用

2001年

應用技術

成果簡介

該課題采用電子束蒸鍍、富氧處理和低溫固膜工藝，實現了金剛石膜和金屬層之間的化學結合；提出了新的金屬化體系Ti/Ni/Au，抗拉強度為38.4-44.6MPa，在-78.5℃-+150℃耐冷熱沖擊循環100次后，金屬化薄膜未脫落，并且結合強度基本保持不變；金剛石膜金屬化熱沉經過實際使用，熱阻僅為氮化鋁熱沉的40.7%。該成果達國內領先水平。...

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金剛石膜熱沉表面金屬化工藝研究及應用

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