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    磁致伸縮型納米微位移致動器

    2002年 應用技術  中期階段
    • 成果簡介
    該研究是國家“九五”“八六三”高技術研究發展計劃課題(863-715-003-0042)的重要組成部分。微位移致動器是實現微米、亞微米及納米尺度超高精度位置執行與控制的傳感和執行器。它帶動了諸如:超大規模集成電路加工,精密光學儀器控制,超精細加工,顯微分析,人工智能控制等行業的飛速發展,在國防、微電子、航空、航天等領域有極為重要的作用。本項目采用磁懸浮冷坩堝提拉稀土鐵超磁致伸縮單晶材料技術...

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