1998年 應(yīng)用技術(shù)
該課題是主要針對(duì)解決新型慣性儀器超精加工而研制的亞微米車床。其中有七項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)：超精密空氣主軸，關(guān)鍵件采用石材。主軸回轉(zhuǎn)精度<0.1μm；床身與導(dǎo)軌采用花崗石材料，空氣導(dǎo)軌直線度誤差達(dá)到0.13μm/110mm；進(jìn)給與微動(dòng)刀架分辨率分別為0.01μm和0.0024μm；激光干涉檢測(cè)系統(tǒng)采用光纖激光測(cè)量器，其分辨率達(dá)到0.01μm；恒溫油淋 澆系統(tǒng)，溫控精度達(dá)到±0.004℃；減隔振系統(tǒng)，其固有頻率...
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