2001年 應(yīng)用技術(shù)
設(shè)計(jì)研制出了一種新型的高分辨率柱面“蜂窩式”透鏡光刻系統(tǒng)；提出了一種圓渙柵超微粒M“動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)涂布示”，解決了圓光柵超微粒“動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)涂布法”，解決了圓光柵超微粒乳膠涂布嚴(yán)重縮邊的關(guān)鍵工藝，在國(guó)內(nèi)首次應(yīng)用超微粒乳膠光刻圓光柵獲得成功；提出了一種創(chuàng)新的“高密度光柵制作方法”，即高速柱面“蜂窩式”透鏡光刻法，使圓光柵刻劃時(shí)間達(dá)到每轉(zhuǎn)3分鐘，分辨率達(dá)到250線對(duì)/毫米以上，刻出的圓光柵直徑≤50毫米，刻線數(shù)...
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