2005年 應用技術
一、項目簡介
主要由沉積室、直流電源、樣品轉臺、真空獲得及測量系統、電控系統、氣路系統等組成。 主要技術性能指標： 1、極限真空：優于5Pa； 2、真空室尺寸(1)450×450(mm)為圓筒形立式雙層水冷全不銹鋼結構； 3、基片尺寸、數量：最大φ50mm、一塊； 4、電... 
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