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    1×2、2×2、4×4、1×8、8×8系列MEMS光開關(guān)及制造方法

    2005年 應(yīng)用技術(shù)
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    本研究屬于一個新技術(shù)在產(chǎn)品中的應(yīng)用開發(fā),這項新技術(shù)是MEMS技術(shù),硅MEMS加工技術(shù)具有與微電子技術(shù)的兼容性,利用硅MEMS技術(shù)開發(fā)的產(chǎn)品具有批量、成本低、集成度高等共同的特點,另外MEMS光開關(guān)是一種全光開關(guān)(O-O-O),不需要復(fù)雜的光電轉(zhuǎn)換,即它在路由和復(fù)原光傳輸信號時會始終保持信號的光形式,其性能也不依賴于傳播光的波長和信號傳輸速率,研制的8×8微機械光開關(guān)與傳統(tǒng)的機械式光開關(guān)相比...

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