2006年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種用于準(zhǔn)分子激光的反射蠅眼式光束均勻器，其特征是將n2（n為正整數(shù)）小塊方形的鍍有全反射的凹面鏡固定在一塊方形基板上組合成n×n的蠅眼式反射鏡陣列板，由兩組完全相同的蠅眼式反射鏡列陣板平行且與入射光束成45度地位錯(cuò)放置，并在光束的輸出方向垂直于輸出光束設(shè)置一透鏡組成。每小塊方形的鍍有全反膜的凹面鏡具有相同的曲率半徑。本發(fā)明的反射蠅眼式光束均勻器，具有加工難度小，對(duì)加工材料要求不高，價(jià)格低...
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