2006年 應(yīng)用技術(shù)
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)裝置，具體說(shuō)涉及一種超微質(zhì)量及超微載荷變化量檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法。包括有機(jī)體，原子力顯微鏡檢測(cè)裝置，彈性測(cè)微裝置，所述彈性測(cè)微裝置通過(guò)螺桿與機(jī)體連接，彈性測(cè)微裝置與機(jī)體之間裝有壓縮彈簧。
本發(fā)明設(shè)計(jì)一種方法和裝置，該裝置一方面能夠以?huà)呙杼结橈@微鏡超微分辨能力進(jìn)行微觀量的探測(cè)，另一方面又適應(yīng)于通常工程技術(shù)領(lǐng)域中微觀量的精密檢測(cè)。檢測(cè)的物理量經(jīng)過(guò)處理容易適... 
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