1994年 應(yīng)用技術(shù)
該測量儀創(chuàng)造性地將微分干涉顯微術(shù)與相移干涉技術(shù)相結(jié)合，不僅解決了干涉顯微鏡型光學(xué)輪廓儀對機械振動等環(huán)境干擾敏感的問題，而且也解決了微分干涉顯微鏡不能定量測量的計量測試難題。它具有很強的抗干擾能力，在不使用隔振平臺、不采取恒溫和密閉等環(huán)境控制措施的一般實驗室場合下，就能達到優(yōu)于0.1nm的垂直分辨率和0.18nm的表面輪廓高度重復(fù)測量精度，超過了國外先進儀器在采取嚴格環(huán)境控制措施條件下所達到...
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