TH-01型電容薄膜壓力傳感器

1993年

應用技術

成果簡介

　　該傳感器是利用不同壓強下薄膜產生不同程度的彈性偏移，導致電容變化的原理進行壓強測量。它采用先進工藝制作薄膜電極和對傳感器進行恒溫控制，具有測量精度高、動態響應快、測量結果與氣體種類無關、抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優點。它可應用于氣象、航天、化工、真空冶煉、輕工、食品、核工業等部門的科研與生產中，特別適用于薄膜制備、微細加工、微電子技術等領域的低真空測量。...

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TH-01型電容薄膜壓力傳感器

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